应用介绍 【行业】SEMI 【设备】清洗机/CDS/SDS 【用途】去除晶圆表面的颗粒污染物、氧化层等 应用场景 对储液罐(tank)的液位进行检查。 解决课题 部分有机溶液(氢氟酸)具有腐蚀性,无法使用透明玻璃管显示液位。 价值提案 核心产品:光纤传感器E32-D82F1(接液型)、光纤放大器E3NX-FA ■接液型光纤传感器可部署于储液罐(tank)内直接接触液体测量 ■200℃的耐热性并有氟树脂涂层,耐化学性强,满足清洗槽温度和腐蚀要求,实现对有机溶液的液位检测 相关产品 光纤传感器E32 https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/ 光纤放大器E3NX-FA https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/ 若您对本产品感兴趣,欢迎扫码留下您的联系方式,欧姆龙工程师将尽快与您联络! 




